Planeitate - suprafata - Enciclopedia mare de petrol și gaze, hârtie, pagina 1

Planeitatea - suprafața

planitate suprafață (în special ondulație) afectează claritatea liniilor de proces fotolitografice. În cazul în care suprafața de fotorezist nu face contact bun cu foto-mască, definirea zonelor individuale se va deteriora. Abaterile de la planeitate permisă în 1 0 - 5 microni / mm. [1]

Planeitatea suprafeței - exprimată în inele de microni interferență sau deformarea suprafeței substratului lui Newton în raport cu un plan ideal. [2]

Suprafata bemolizare O verificare a vopselei prin răzuire placa sau pod. [3]

Planeitatea suprafeței discului (fig. 52 b) să verifice sonda pentru posibila decalajul dintre discul 2 și 3 riglă, discuri detașabile y - urme de vopsea sau indicator pe placa de suprafață. Elimina toate încălcările prelucrării pe un strung. Atunci când rotorul se află în centrele de control, prisme sau rulmenți, altele decât părțile individuale ale bătăilor inimii definesc o încovoiere a arborelui comun. Bătăi 0 nu trebuie să depășească 05 mm. [5]

Planeitatea suprafețele plăcilor a fost determinată prin aplicarea liniei de control la suprafețele inspectate. Când această sondă set decalaj între placa frontală și suprafața liniei de comandă. [7]

Planeitatea suprafețelor părților corpului este controlată printr-o linie de comandă, care este montat pe cele două măsuri finale de grosime egală. Folosind calei, scala de desen în formă de pană sau indicator măsurat distanța A dintre linia și suprafața componentelor, în mai multe locuri. [8]

Bemolizare suprafețe linii tip UT număr normalizat de spoturi într-un pătrat cu latura de 25 mm. [9]